K社 납품 FFU SPEC
| Size | 1015*620*171 |
| RPM | MAX 3000 |
| Air Velocity | 0.65 m/s ±20% br />(고정 RPM 2400) |
| Pressure | 215 Pa ±10% (고정 RPM 2400) |
| Uniformity | <15% |
| Vibration | 1.8 mm/s (MAX RPM) |
| Noise | 78 db m/s (MAX RPM) |
| Size | 600*558*135 |
| RPM | MAX 3000 |
| Air Velocity | 0.2 m/s ±20% br />(고정 RPM 1400) |
| Pressure | 115 Pa ±10% (고정 RPM 1400) |
| Uniformity | <15% |
| Vibration | 1.2 mm/s (MAX RPM) |
| Noise | 72 db m/s (MAX RPM) |
| Size | 590*565*135 |
| RPM | MAX 3000 |
| Air Velocity | 0.26 m/s ±20% br />(고정 RPM 1500) |
| Pressure | 126 Pa ±10% (고정 RPM 1500) |
| Uniformity | <15% |
| Vibration | 1.2 mm/s (MAX RPM) |
| Noise | 72 db m/s (MAX RPM) |
FFU 구성과 역할
| NO. | ITEM | FUNCTION |
|---|---|---|
| 1 | FAN | Air를 흡입 배기 한다. |
| 2 | PRE Filter | 10um 이상의 Particle를 포집 한다. |
| 3 | ULPA Filter | 0.1um 이상의 Particle를 포집 한다. |
| 4 | Chemical Filter | Chemical 요소를 흡착한다. |
| 5 | Diffuser | Air가 고르게 나올 수 있도록 한다. |
| 6 | Controller | FAN RPM, 차압을 조절한다. |
이동용 국소배기 Size
이동용 국소배기 내부구조